规格型号：EDAX扫描电镜能谱仪

生产厂家：北京中科科仪股份有限公司

（一）主要用途

教学和科研中的材料表征、元素的定性与定量进行系统测试与分析。

（二）设备配置和主要指标

1.分辨率：132 eV；

2.分析范围：Be-V；

3.电子枪类型：翻开式发叉结构钨灯阴极；

4.加速电压：0～30 kV；

5.透镜系统：三级电磁透镜（锥形物镜）；

6.物镜光阑：三个光阑可在真空外选择调节；

7.样品台：手动；

8.探测器：二次电子探测器、背散射电子探测器（可选）、X-ray能谱仪（可选）；

9.真空系统：分子泵。